반도체 공정에 사용되는 고순도 스테인레스 파이프의 BA(Bright Annealing) 및 무산화 열처리. 청정 표면, 치수 정밀도, 내식성을 동시에 충족합니다.
BA(Bright Annealing)는 수소·질소 혼합 분위기 또는 수소 100% 분위기 하에서 스테인레스 파이프를 열처리하는 공정입니다. 표면 산화를 방지해 광택 있는 금속 표면과 우수한 내식성을 구현합니다.
반도체 FAB에 사용되는 특수 가스·화학품 공급 배관은 내부 오염을 극도로 억제해야 합니다. 심도테크의 BA 열처리는 30년 이상의 공정 노하우로 반도체 업계의 엄격한 사양을 충족합니다.
| 처리 소재 | STS 316L, 304L, 316 등 |
|---|---|
| 파이프 규격 | OD 1/4" ~ 2" (맞춤 대응 가능) |
| 분위기 가스 | 수소(H₂), 수소·질소 혼합 |
| 처리 온도 | 1,050 ~ 1,150 °C |
| 냉각 방식 | 급냉(Quench) 또는 서냉 |
| 표면 조도 | Ra ≤ 0.4 μm (내면 전해 연마 병행 가능) |
| 납품 형태 | Coil / Straight / 절단 |
반도체 FAB 납품 이력과 데이터 기반의 열처리 프로파일 관리
처리 온도·시간·분위기 데이터를 포함한 검사 성적서 제공
소량·긴급 오더도 대응 — 빠른 견적 및 납기 협의
EP(전해 연마), 절단, 피팅 조립 연계 처리 가능